В ходе образовательного процесса используется современное технологическое и исследовательское оборудование мирового уровня: нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9; растровый электронно-ионный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600; исследовательский комплекс на базе сканирующего электронного микроскопа с расширенными функциональными возможностями Phenom; сканирующая зондовая нанолаборатория Ntegra Vita; сканирующий зондовый микроскоп Solver P47Pro; комплекс учебных сканирующих зондовых микроскопов NanoEducator; технологическая гермозона на базе чистых помещений класса ИСО 5/7 с комплексом оборудования для формирования структур микро- и наномеханики, структурных исследований и контрольно-измерительное оборудование различного назначения, включающим установки плазмохимического осаждения и травления, установки электронно-лучевого и магнетронного напыления, установки импульсного фотонного и термического отжига, лазерные установки, участок фотолитографии и др.